PECVD减反射涂层
制造薄膜太阳能电池板时需要在真空沉积过程中进行玻璃涂装。PECVD工艺中的氮化硅被用来涂装硅太阳能电池以形成减反射层。
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应用点
要获取高产能，就必须测量过程中的温度均匀性。问题是如何测量基体 (substrate) 温度，因为基体是在真空室内涂装并关闭的。
对客户的好处
- 测量过程室各处的产品温度均匀性
- 通过降低能源成本和/或增加产量来优化过程
- 快速方便地排除过程故障
- 追踪过程稳定性
热分析系统
热分析系统制造薄膜太阳能电池板时需要在真空沉积过程中进行玻璃涂装。PECVD工艺中的氮化硅被用来涂装硅太阳能电池以形成减反射层。
要获取高产能，就必须测量过程中的温度均匀性。问题是如何测量基体 (substrate) 温度，因为基体是在真空室内涂装并关闭的。
热分析系统 热分析系统