Datapaq物理气相沉积系统 (PVD)

针对 PVD 过程的温度测绘解决方案

专为 PVD 监测开发

准确高效地验证产品和涂层
确认过程符合涂层固化规范
即刻突出显示炉具问题，并借助相关数据采取纠正措施

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概览
技术参数
应用
资源

Datapaq 高温炉跟踪仪温度测量系统可收集并分析监测和改进您的物理气相沉积 (PVD) 过程所需的温度信息。Datapaq 高温炉跟踪仪系统可承受恶劣的真空炉/熔炉条件，同时在过程中保持清洁。

数据记录器

Datapaq TP6 是针对苛刻的高温测绘应用的解决方案。该系统直接安装在高温炉中，可对连接至产品的多达 10 个热电偶的表面进行温度测量。

提供 10 通道和 20 通道配置和两种外壳款式
防水（IP67 防护等级）
通过 USB 或蓝牙进行通信
通过 USB、射频遥测技术和蓝牙技术进行实时遥测
提供碱性电池、镍氢电池和锂电池选项
与支持移动应用的 Datapaq Insight™ 软件相兼容

隔热箱选择

我们的一系列隔热箱可为您的 PVD 过程提供无污染的安全选择，同时其具有高热质量的坚固的不锈钢外壳可在苛刻的环境中防止热损害。

软件

高温炉跟踪仪® Insight™ 分析软件支持全面的数据检查、分析和报告。借助该过程优化工具，使用 DatapaqValue 分析软件从理论上预测温度测绘数据更改对整体测绘性能的影响。无需对过程参数选择进行推测，从而有效减少了多次试验和错误验证运行需求。 Datapaq Insight 软件的具体功能包括：

Datapaq 值、参考曲线和公差曲线
统计过程控制 (SPC)
BakeChart 分析和操作员模式
分析报警
全面报告，通过邮件发送

数据记录器

型号	TP6116
通道	10
温度范围	-100 ～ 1370°C 取决于热电偶类型（显示 K 型）
连接方式	USB 或蓝牙*
内存容量	400 万个数据点
启动/停止触发器	无（自动），手动，温度上升/下降和基于时间
采样间隔	0.05 秒 – 50 分钟（不使用遥测技术） 2 秒 – 50 分钟（使用射频遥测技术*）
准确性	± 0.3 °C – K 型
分辨率	± 0.1°C (0.18 °F)
热电偶类型	K 型（提供 J、N、T、R、S 和 B 型）
多次运行功能	在返回电脑之前可运行多达 10 次温度测量

*请联系 Fluke Process Instruments，以了解您所在国家或地区中射频遥测技术和蓝牙技术的可用性。

隔热箱选择

型号	TB5014
结构	不锈钢密封面板
重量	7.8 kg
尺寸	100 x 146 x 303 mm
散热器	散热器 TB1001 × 2
温度持续时间	6 hrs @ 150ºC 4 hrs @ 200ºC
最高工作温度	300ºC